淺談清潔度顆粒分析顯微鏡的測量差異（一）

清潔度是指零部件表面，在生產和運輸過程中附著的污染物異 物，污染物異物分為固體顆粒物和液態殘留物。固體顆粒物，因其尺寸、數量、硬度不同，對摩擦、機械、液壓、流體等系統產生功能性損 傷，嚴重情況下可導致產品直接報廢并危及人員生命安全。

顯微鏡顆粒計數法的檢測設備主體，是由：照相機、顯微鏡、自動 掃描臺、電腦、分析軟件組成的一臺顆粒計數顯微鏡（或稱清潔度自動分析顯微鏡系統）。被測顆粒物被過濾到一張通常是直徑為47mm的濾膜上，自動掃描臺每次移動時，顯微鏡視場下的濾膜都被拍攝，蕞后由軟件拼接成整張濾膜圖像，通過閾值對比將顆粒從背景中識別出來，通過自動偏振機構識別帶金屬反射的顆粒。

本文主要通過對一臺顆粒計數顯微鏡（清潔度自動分析顯微鏡）的分析，闡述采用不同顯微鏡、攝像機、軟件分析方法，導致的分析結果差異。

測量差異原因分析

1.設備自身是否準確？

設備上的攝像系統與自動掃描臺的平面必須平行，且攝像系統的X 與Y軸也必須與自動掃描臺的X和Y軸運行軌跡保持平行。這樣才能保證 圖形拼接時不出現“錯位"現象。相比正常設備，檢測到的顆 ?？倲盗看蠓黾樱☆w粒增加，大顆粒缺失。 通常，一臺顯微鏡在經過長時間、高頻率使用之后，可能會出現以上情 況。例如：人員磕碰、搬運、意外等。

2.像素分辨力差異。

每臺采用攝像系統拍攝并通過分析圖像得到測量結果的設備，都會因為 攝像機設計原理而在邊緣產生單邊1個像素的不確定性。所以，在測量 顆粒長度時，會產生+/-2個像素的偏差。由此可得，像素越小、精度越 高、分析時間越久；像素尺寸越大，精度越低，分析時間越短。 因此，采用不同像素分辨力時，測量結果會產生差異。